平面度（flatness;planeness)，是屬于形位公差中的一種，指物體表面具有的宏觀(guān)凹凸高度相對理想平面的偏差。在傳統的檢測方法中，平面度的測量通常有：塞規/塞尺測量法、液平面法、激光平面干涉儀測量法（平晶干涉法）、水平儀/數字水平儀測量法、以及打表測量法。

　　塞尺測量法，只需一套可隨身攜帶的塞尺就可隨時(shí)隨地進(jìn)行平面度的粗測。目前很多工廠(chǎng)仍使用該方法進(jìn)行檢測。由于其精度不高，常規最薄塞尺為10um，檢測效率較低，結果不夠全面，只能檢測零件邊緣。

　　液平面法，基于連通器工作原理，適合測量連續或不連續的大平面的平面度，但測量時(shí)間長(cháng)，且對溫度敏感，僅適用于測量精度較低的平面。

　　激光平面干涉儀測量法，最典型的用法是平晶干涉法。但主要于測量光潔的小平面的測量，如千分頭測量面，量規的工作面，光學(xué)透鏡。

　　水平儀測量法，廣泛用于工件表面的直線(xiàn)度和平面度測量。測量精度高、穩定性好、體積小、攜帶方便。但是用該方法測量時(shí)需要反復挪動(dòng)儀器位置，記錄各測點(diǎn)的數據，費時(shí)、費力，調整時(shí)間長(cháng)，數據處理程序繁瑣。

　　打表測量法，典型應用為平板測微儀及三坐標儀，其中優(yōu)以三坐標儀為應用最廣泛。測量時(shí)指示器在待測樣品上移動(dòng)，按選定的布點(diǎn)測取各測量點(diǎn)相對于測量基準的數據，再經(jīng)過(guò)數據處理評定出平面度誤差。但其效率較低，通常一個(gè)樣品需要幾分鐘，離15ppm的期望相差甚遠。